二手 KLA / TENCOR D6 #9249608 待售

KLA/TENCOR D6晶片测试和计量设备是一种精确的自动化内容检测和计量工具,旨在满足5纳米以下和下一代工艺的精度和吞吐量要求。它配备了先进的光学、先进的算法和自动化的控制-所有这些都建立在一个精密的平台上,能够对有阵列的半导体晶片进行快速、准确的测量。KLA D6满足了对高级节点的所有要求,尤其是对于5 nm以下及以后的节点。它是目前市场上最先进的KLA晶片测试仪，能够以极精细的精度测量纳米级结构和缺陷。该系统还提供复杂的背面计量功能,可帮助检测和测量各种特征,如迭加精度、红线、孔径大小、光刻通孔、抵抗开放等。在处理和吞吐量方面，该单元采用多光束扫描头，头部速率快，并采用先进的算法和光学手段，确保更高的精度和更快的测量速度。该机还配备了全自动晶圆索引器，以加快样品装卸过程。它还有一个高性能的检测工具，它使用复杂的算法来量化元素如临界线宽、抵抗宽度、抵抗轮廓等。该资产提供集成和数据分析功能,如配方创建、分析和编辑、用于查看和打印结果的报告功能,以及各种支持数据分析的软件工具,如WTM （Wafer Test Matrix）,以最小的偏差达到准确的测量值。总体而言,TENCOR D6晶圆测试和计量模型为低于5纳米及以上的工艺提供了业界领先的准确性和吞吐量,并已设计为满足最苛刻的生产环境的需求。