二手 KLA / TENCOR eRanger 5200 #293621220 待售

KLA/TENCOR eRanger 5200是一种晶圆测试和计量设备，旨在为先进的半导体器件制造提供完整的过程控制。eRanger系统采用最新的半导体制造技术开发,旨在提供精确的晶圆厚度、形状和轮廓测量,并具有高精度和重复性。该设备先进的光学设备和集成的微机电系统（MEMS）使其能够在晶圆的正面和背面进行计量,并进行全面的区域扫描测量。eRanger在Flip芯片和Wirebond晶片上都具有自动测量功能。其先进的光学器件使它能够以1微米的分辨率捕获和测量软和硬掩模，同时提供高达10微米的离子束图像。机器的3D轮廓测量能力可以测量晶圆直径和斜角、半径曲率、轮辋和台阶，均为1微米分辨率。它还能够测量和分析垫高和平整度参数，便于布局、计量和过程控制。该工具还能够测量过程引起的缺陷，如金属线宽、螺距和角半径。其独特的健壮工艺设计增强了晶圆控制，降低了颗粒添加和污染的风险。高通量的8英寸光学资产与大多数晶圆工艺完全兼容,从而实现晶圆与样品之间优化的视线测量。这使得eRanger模型能够在测量周期内确保足够且可重复的晶圆与样品对齐和位置重复性。KLA eRanger 5200设备是寻求节省成本和减少半导体制造过程差异的企业的绝佳选择。它坚固、易于操作，提供可靠、高精度的测量，在微米范围内具有重复性和准确性。该系统积极降低污染风险，为操作员提供舒适和符合人体工程学的操作。最后，它与大多数晶圆工艺的兼容性使得它成为任何半导体制造工厂的绝佳选择。