二手 KLA / TENCOR eRanger 5200 #293625706 待售

KLA/TENCOR eRanger 5200是一种晶圆测试和计量设备，旨在提供快速准确的半导体器件分析和测量。该系统旨在快速、准确、重复地扫描和测量多达4英寸和200毫米晶圆。它可以测量各种各样的参数，从基本的表面缺陷到复杂的轮廓、特性和过程。KLA eRanger 5200先进的成像技术提供了高分辨率的缺陷图像和过程签名，具有极高的精度和可重复性，以获得最大的晶圆产量。TENCOR eRanger 5200构建在一个完全自动化的平台上，无需人工处理晶圆。可以快速配置该单元以测量任意大小晶圆上的各种缺陷和过程。集成晶片盒可容纳多达80个晶片,用于自动晶片加载,自动晶片映射可确保最高级别的可重复性。集成的机器人处理程序允许机器在执行测试和测量时快速准确地移动晶圆。ERanger 5200提供自动化和手动检查功能,使工程师和操作员能够更详细地快速识别缺陷或处理签名。自动检查模式设置峰值测量和整理不合格的晶片，而手动模式则允许用户调整参数并进行更详细的检查。该工具还具有在关键特征上的500 µm线宽分辨率,以及高点密度和特征覆盖范围。资产包括一系列旨在提高吞吐量和准确性的软件应用程序。这包括用于测量晶圆共面的KLA Targetrunner Co-Planarity软件,以及用于查看图像、分析数据和生成报告的TENCOR Insight。KLA/TENCOR eRanger 5200还包括KLA/TENCOR GP-View软件，用于自动滚动和缩放图像，允许在分析缺陷时提供更多细节。总体而言，KLA eRanger 5200是一种先进的晶圆测试和计量模型，可以快速准确地识别和量化广泛的过程和缺陷类型。其先进的成像和软件功能使设备实现了卓越的重复性和精确度，减少了整体晶圆产量损失。