二手 KLA / TENCOR eRanger 5200 #9263058 待售

KLA/TENCOR eRanger 5200是一种下一代晶片测试和计量设备，被设计为测量晶片上薄膜厚度和光学材料的先进工具。该系统旨在提供超高分辨率、速度和准确性,同时确保高质量的结果。该单元基于溷合半导体/计量平台，包括固态激光扫描显微镜、光学显微镜、四探测器、X射线反射仪等先进计量技术。KLA eRanger 5200提供了广泛的测量和分析功能，包括表面成像、光学表面特性、薄膜沉积/蚀刻、机器校准等等。它的非接触式光学机器有移动镜控制器和高分辨率成像仪，能够进行高速测量，甚至在晶圆的边缘。此外,X射线反射计还提供了一种独特的材料表征解决方桉,使操作员能够在几秒钟内测量薄膜厚度和薄膜密度。TENCOR eRanger 5200的高级软件包提供全面的功能,包括自动作业设置、自动过程蒙太林、晶圆图编辑和统计过程控制。它还提供图像分析和计算,以及高级统计数据处理程序。为了确保准确性，该工具已被证明具有高度可重复性和可追踪的准确性。ERanger 5200还利用了四检测资产,允许同时将四个晶圆集中到一个测量中。这样可以缩短测试时间并提高吞吐量。该型号还具有灵活的晶片处理设备，可最大程度地兼容不同类型的晶片。KLA/TENCOR eRanger 5200的设计旨在通过改进晶圆测试和计量来提高工艺产量和产品质量。它结合了高分辨率成像和高级软件功能,显着提高了晶圆级测试能力,提供了可靠的结果并提高了过程可见性。可用于多种行业，如半导体、MEMS、LED、太阳能电池等。该系统灵活的体系结构还允许集成到现有的半导体过程中,从而实现更高的生产率。