二手 KLA / TENCOR F5 #9214704 待售

KLA/TENCOR F5是一种基于原子力显微镜的晶圆测试和计量设备，设计用于半导体器件的生产和开发。该系统为一系列晶圆织物和饰面的高通量测试和表征提供了一个可靠的平台。它提供高分辨率、可重复和非接触的晶圆特征测量,如厚度、表面地形、晶粒大小和扩散。该部门的集成软件功能提供自动化的测量分析以及全面的数据管理和可视化功能。KLA F5机器由几个组件组成，包括集成平台硬件、AFM传感器和控制软件。集成硬件包括AFM头、XY扫描级和精确的Z高度感测。该工具的高级AFM感官功能使其能够扫描透明和不透明的表面,从而提供复杂、高分辨率的晶圆特征图像,且精度很高。XY扫描阶段允许资产快速穿越大面积的晶圆，而z高度感测精确定位AFM磁头以捕获数据。该模型的集成软件控制程序提供了全面的自动化和数据管理能力。该软件允许用户轻松定义复杂的测试，自动获取高度可重现的数据，并管理大型数据集以进行可靠的比较和统计分析。它还提供了功能强大的可视化工具,用于优化测试设计、评估数据和报告结果。TENCOR F5设备非常适合于分析半导体晶圆织物和工艺，如光致抗蚀剂图桉、介电氧化物蚀刻、扩散等。它还能够监测制造工艺步骤，如光刻、薄膜沉积和掩模对准。这使得它成为过程评估和缺陷分析的理想解决方桉。该系统提供高分辨率成像功能和可重复数据采集,从而能够可靠地检测和量化晶片上的缺陷,并实现优化的过程控制。它的自动化数据采集和分析功能可用于快速识别和表征缺陷并分析过程变化或设计修改的影响。