二手 KLA / TENCOR F5x #293587509 待售

KLA / TENCOR F5x
ID: 293587509
晶圆大小: 12"
优质的: 2004
Film thickness measurement system, 12" 2004 vintage.
KLA/TENCOR F5x是一种晶片测试和计量设备,其设计目的是在测试晶片基板和测量表面缺陷水平方面达到高精度和高速度。这台高科技仪器利用先进的光学和多光谱成像技术,创建了被测表面的详细图像,从而能够识别和量化晶圆缺陷。该系统能够扫描前后两侧的晶片,以不同角度捕捉图像,并以极高的精度测量微结构的高度、尺寸和位置。KLA F5x还具有检测表面材料中不同水平对比度的能力,并且还能够检查反射表面。该单元拥有一种自动平坦度算法,可确保精确度降至原子水平,使其更有能力执行前沿半导体应用所需的高端计量。这包括斜坡和缺陷表征的缺陷姿势、锥形和图桉化表面检查以及掩蔽。TENCOR F5 X机的光学计量包括CCD成像,它使用数百个统计变量来测量和检测基板背面、侧壁和顶面的表面缺陷。这会导致更快的开发时间,因为可以轻松地检查和检测功能,以及加快生产速度。F 5 X还具有将样本映射和分类为多种类别的能力,如缺陷、好、中间或坏晶片。KLA/TENCOR F 5 X工具易于使用,其功能使其非常适合研究人员、产品开发人员和生产工程师。它可以用作独立资产或与工厂自动化集成。KLA F 5 X型号的灵活性允许其用户将其配置为满足特定需求,如按缺陷级别排序、创建掩码或设置每个产品的灵敏度。总体而言,TENCOR F5x晶圆测试和计量设备是一种可靠、精确、高效的精确检测和测量表面的工具。凭借其先进的光学、成像技术和自动化算法,F5x系统可以快速检测和量化表面缺陷,测量到原子水平的平坦度,并生成被测试表面的详细图像。
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