二手 KLA / TENCOR F5x #9236720 待售
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KLA/TENCOR F5x是一种晶圆测试和计量设备,利用先进的技术为半导体晶圆的测试和检验提供全面的解决方桉。KLA F5x配备了一系列自动晶片检查工具,可对过程、产量、自动化和高级故障分析进行晶片级测试。TENCOR F5 X由几个关键组件组成,包括用于照明晶片表面的LED阵列、捕获反射信号以优化噪声的集成光学检测系统和确保图像数据最高精度的高精度运动级。此外,TENCOR F5x还利用数字图像关联(DIC),并采用全硅级单元(SLS)技术或SLS 9352平台来测量图像特征和识别缺陷。F5x既可以检查图桉化晶片也可以检查裸晶片,还可以检查高级工艺步骤,如迭加检查和计量分析。另外,KLA/TENCOR F5X配有快速分割算法,能够快速准确地检测粒子和粒子的形状参数并进行量化。KLA F 5 X是一个多用途的平台,允许用户调整操作和设置,以观察各种缺陷。它还可以利用由图像分析、对比度检测和测量三个不同阶段处理的自动晶片缺陷吞吐量。其先进的能力包括检查晶体管闸门、MOS帽和接触通气的能力,此外还有常规的掩模缺陷和粒子缺陷。此外,F5 X还设计了一种主动传输机器,可简化晶圆在各级之间的移动和定位,以及快速的负载和卸载时间,使其成为高通量处理的理想选择。它还具有直观的用户界面和用户友好的工作流编程功能,使用户能够精确控制该工具,并根据其应用程序的特定需要对其进行配置。总体而言,KLA/TENCOR F5x为晶圆测试和计量提供了一个全面的解决方桉,可确保快速准确的结果。KLA拥有先进的技术和功能,F5x各种检查和缺陷检测要求的最佳选择。
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