二手 KLA / TENCOR F5x #9243619 待售
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ID: 9243619
晶圆大小: 12"
优质的: 2001
Film thickness measurement system, 12"
FOUP: (2) TDK TAS300
YASUKAWA Robot
PC System
Hard Disk Drive (HDD) missing
2001 vintage.
KLA/TENCOR F5x是一种用于半导体器件制造质量保证的最先进的晶圆测试和计量设备。它旨在提供对各种晶圆特性的高度精确和可重复的测量。KLA F5x具有先进的CCD摄像机系统,可对测试晶片的地形进行精确和可重复的测量,以及全套故障分析和缺陷密度应用。它是完全自动化的,允许严格控制过程测量,以帮助确保半导体器件的最高质量标准。TENCOR F 5 X采用了多种成像技术，包括检查和计量能力。具体而言，其CCD相机单元捕获614个不同段中晶圆的图像，每个段使用光谱光度法进行分析，以提取详细的光学光散射特性。接下来是一系列自动化测试,如临界尺寸（CD）和缺陷密度测量测试,以及模模缺陷评估。除了CCD摄像机之外,F5x还配备了集成的光学剖面仪,提供3D地形信息和实时横截面成像。它还包括一整套故障分析功能，包括自动缺陷定位和分类、故障透射电子显微镜（TEM）迭加，以及用于进一步分析的缺陷隔离。最后,F5 X提供了一套全面的数据分析工具,使用户能够快速可靠地解释、导出和应用晶圆测试和计量应用程序中的数据,以帮助优化过程控制。这包括访问一系列统计算法，帮助监测非随机趋势和模式。综上所述，KLA/TENCOR F5 X是半导体器件晶圆测试和计量的一种高度先进的工具。它提供了一个用于测量和评估地形、故障分析和缺陷密度的自动化平台,同时还提供了一系列数据分析工具来支持过程优化。TENCOR F5x的强大功能为确保半导体器件生产的最高质量标准做出了宝贵贡献。
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