二手 KLA / TENCOR F5x #9270868 待售

KLA/TENCOR F5x是为半导体生产而设计的晶圆测试和计量设备。它使用先进的光学成像和检查技术来优化生产过程产量,同时确保所有晶片的均匀性。该系统利用自动晶片提升器在成像室和分析室之间传输晶片，使用户能够准确快速地分析和检查每个晶片。该单元包括两个高分辨率摄像机，一个用于成像，一个用于自动检查。成像摄像机以高达30 nm的分辨率捕获晶片中的数据,从而实现精确、快速的数据收集。然后使用专有算法分析这些数据,以创建晶圆的复杂2D图像。检测摄像机还利用高分辨率光学器件捕获缺陷数据，对其进行自动分析报告，便于解读检测结果。KLA F5x使用先进的扫描技术如亮场、暗场、荧光和截面成像，在广泛的波长范围内生成高分辨率图像。然后使用高级算法对这些图像进行分析,以检测晶圆内的缺陷、非均匀性和其他特性。然后使用此数据生成质量指标,如晶圆产量、设备性能和排泄率。该机还配备了原位样品温度和环境控制工具，可用于监测污染水平，减少环境影响的影响。这是通过限制可能影响晶圆结果的温度和气压波动来实现的。TENCOR F 5 X还包含多种旨在提高工艺速度和精度的功能。其中包括与资产可操作性的直接连接、自动晶圆状态更新、图像注册和集成生产模型。所有这些特性的结合使得KLA F 5 X成为需要高速、精确晶圆测试和计量的半导体制造商的理想选择。