二手 KLA / TENCOR F5x #9270988 待售

KLA / TENCOR F5x
ID: 9270988
Film thickness measurement system, 12" 2003 vintage.
KLA/TENCOR F5x是一种高性能晶圆测试和计量设备,旨在实现半导体和其它基于晶圆的元件的精确性能。该系统围绕若干核心技术和组件构建,包括获得专利的高通量servofeeder、扫描光学计量、高频激光测量以及用于模式识别和缺陷检测的先进软件。KLA F5x的核心是一个强大的光学单元,它可以在几秒钟内自动检查数千个芯片。这台机器采用大尺寸、重量轻的镜头阵列,具有高的数值光圈和热稳定性能,使TENCOR F5 X具有高达250毫米直径的优越吞吐量。该工具还具有超声波检测功能,它允许无损缺陷分析到亚微米级。此外,KLA/TENCOR F 5 X包括一个专门设计的悬臂晶片检测头,通过快速重新定位晶片平台来扫描晶片,以纳米精度精确测量表面高度和缺陷位置。检查头还使KLA F5 X能够准确识别缺陷,如晶圆表面的凹坑和凹坑。资产利用先进的视觉和图像分割技术来分析检查过程中拍摄的图像。这项技术有助于识别晶圆中的模式,并有助于检测缺陷,如开路和短路,即使在微观层面上也是如此。最后,TENCOR F5x利用专有软件与计算机模型进行交互并分析结果,以建立综合报告。总体而言,F 5 X是一款先进的、最先进的设备,可为基于晶圆的组件提供高精度的测试和计量功能。其先进的光学系统和检测头提供了纳米精度的缺陷识别,而其先进的软件则提供了完整的晶圆数据报告和分析。F5x为工程师和半导体制造商开发和测试高级元件提供了宝贵的资源。
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