二手 KLA / TENCOR F5x #9315380 待售
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KLA/TENCOR F5x是一种先进的晶圆测试和计量设备,设计用于半导体工业。它具有基于光束的光学显微镜,具有大视场(LFoV),提供广泛的成像和检查能力。该系统可用于快速测量缺陷和其他小规模特征,以及测试晶圆的电和/或热特性。该单元利用了许多不同的光学元件,包括物镜、分束器、取景器和光电二极管阵列。通过将这些元素与先进的软件算法相结合,KLA F5x能够进行高精度扫描,分辨率高达200纳米。它还可以检测颗粒、谷物和其他有机和无机特征,其大小可达几纳米。该机器非常适合评估一系列计量参数,包括临界尺寸、迭加对准、缺陷检查、粒子计数和共面测量。它包括具有可调速度、加速度和振动的机动化级,用于快速扫描。它的软件界面对用户友好,能够快速轻松地进行全面的测量。TENCOR F 5 X融合了许多其他前沿功能,例如基于成像的自动对焦和景深控制。这些特点旨在提高缺陷检测和其他分析的速度和准确性。它还集成了模式匹配技术,用于快速特征识别。除了提供卓越的成像能力和分析能力外,TENCOR F5x还提供卓越的可靠性。其强大的设计确保了它能够承受严密的工业环境,其自动化的维护和校准过程最大程度地减少了停机时间,并最大限度地提高了性能。总体而言,F5x是任何需要先进晶圆测试和计量能力的半导体行业的绝佳选择。其强大的设计和广泛的功能使其成为市场上功能最强大、最可靠的系统之一。KLA/TENCOR F 5 X具有高精度、可靠的性能,非常适合您的测试和计量需求。
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