二手 KLA / TENCOR Flexus 2320 #293762507 待售
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KLA/TENCOR Flexus 2320是一种用于半导体制造的精密晶圆测试和计量设备。它使用户能够以最小的人工干预来快速、准确和经济高效地评估晶片材料的质量。KLA Flexus 2320具有先进的视觉和检测系统,包括两个红外摄像头、两个光度传感器和四个激光头。自适应模式识别(APR)算法可持续监控缺陷检测的准确性,并实现晶圆缺陷检测关键的高级分类功能。利用先进的光学和成像系统,TENCOR Flexus 2320能够以最高的精度识别和测量直径小至140 nm的缺陷。Flexus 2320还能够产生广泛的晶圆级测量和分析。其先进的光学系统可以精确测量晶圆表面的特征大小、间隙大小、形状变化(摆动)和不规则的楼梯状图桉(或台阶)。该单元还分析了覆盖层和临界尺寸均匀性、颗粒和污染物以及层厚度。除了测量和分析之外,KLA/TENCOR Flexus 2320还提供高级自动化功能,可简化晶圆测试和计量操作。该机器包括一个完全集成的软件工具,具有点击用户界面和自动晶圆处理功能。这样可以在操作人员干预最少的情况下自动测量大批量晶片。KLA Flexus 2320是一种功能强大且用途广泛的晶圆测试和计量资产,使其成为半导体制造商的宝贵资产。它具有先进的光学设备、先进的成像和检测系统,以及全面的测量和分析功能,是对半导体晶片进行可靠、自动化质量评估的理想选择。
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