二手 KLA / TENCOR Flexus 2320 #9268289 待售

KLA/TENCOR Flexus 2320是半导体工业的晶圆测试和计量设备。设计用于半导体生产中晶圆基板的大容量测试和分析。该系统提供了广泛的功能，从自动光学检查（AOI）到高级缺陷审查和计量。KLA Flexus 2320包括两个独立的电子束系统，每个系统都有一套独特的能力。这两个系统一起用于晶片基板的测试和分析，结果无缝集成，用于全面缺陷评审评估。主要电子束单元用于表面和地下结构成像、缺陷审查和微观组成分析。二次电子束机专门用于缺陷计量，包括临界尺寸（CD）和迭加测量。TENCOR Flexus 2320提供了一系列高级成像功能来识别和诊断缺陷。这些包括明场成像、暗场成像、反向散射成像和自动光学检查（AOI）。该工具的自动缺陷审查过程进一步增强了成像和分析,在针对实际缺陷的同时过滤出非缺陷。利用Flexus 2320的自动缺陷分类（AFC）资产可以对缺陷进行表征和分析.数字地图和功能隔离等高级功能可实现更准确的缺陷本地化。KLA/TENCOR Flexus 2320的二次电子模型提供了具有出色精度的临界尺寸（CD）测量。它采用光学显微镜，使操作员能够高精度标记检查区域。CD测量可以在整个晶片基板上进行，并用于生成横截面图像以进一步分析。此外，设备还包括专有的迭加测量和计量能力。KLA Flexus 2320在单个平台上提供全面的晶圆测试和计量功能。其自动光学检查（AOI）和缺陷表征功能提供了快速准确的缺陷诊断和定位。其先进的计量能力可实现高精度CD测量和迭加分析。该系统是半导体行业的宝贵资产，能够进行可靠和经济高效的晶圆测试和分析。