二手 KLA / TENCOR Flexus 5400 #9399076 待售
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KLA/TENCOR Flexus 5400是一款先进的晶圆测试和计量设备,为半导体行业提供精密的质量控制和产量提升。它是一个完全集成的自动化系统,为高级检查和计量硬件、综合软件以及应用程序专业知识提供最佳性能。它旨在满足要求最苛刻的半导体制造商的标准,并提供卓越的吞吐量和准确性。KLA Flexus 5400的高精度硬件组件包括一个主动和被动观看的集成工业视觉单元、计分和计数机以及各种探针、光学和运动单元。该机的8轴运动工具可实现动态索引和精确定位,并允许对各种晶圆尺寸进行动态检查。资产还包括一个全面的软件包,提供自动化的控制和数据处理,以及全面的视觉反馈。TENCOR Flexus 5400的软件套件可以测量高性能设备的复杂3D特性,并提供强大的测量算法如粒子和缺陷检测,以及自动模式识别。该模型还支持强大的检查和计量模式,包括光学投影断层扫描(OPT)和轮廓扫描。通过其集成分析套件,Flexus 5400可以快速识别异常,如病毒,然后向制造商提供详细反馈。KLA/TENCOR Flexus 5400还提供了一个安全而强大的网络体系结构,以确保数据安全。它包括一个集成的分布式数据保护设备,用于跨多个物理位置安全传输和存储数据。该系统还可以与集中制造质量和测试管理系统集成在一起,以更快、更准确地识别缺陷,更好地控制产量。KLA Flexus 5400是一个强大而先进的晶圆计量单元,旨在以最小的操作员干预提供精确和可重复的测量。其集成的视觉机器、精确的运动控制和数据处理能力使先进的制造工艺能够进行精确的检查和计量。其集成的软件、安全层和网络系统相结合,使制造商能够实时监控其晶圆过程,发现问题,并迅速采取纠正措施,以确保最优产量。
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