二手 KLA / TENCOR Flexus F2418 #9375031 待售

KLA/TENCOR Flexus F2418是一种晶圆测试和计量设备，用于IC器件表征、模具级缺陷检测、晶圆级监控等多种应用。它能够检测和测量200毫米以下的硅片。KLA Flexus F2418旨在提高制造过程的效率和准确性。该系统针对跨多个目标的并行测试进行了优化,同时同时扫描多达四个模具。它使用光学和电子光束成像格式进行缺陷检测，并提供极快的、无损的检测吞吐量，用于测试大容量、低价值的晶片。该F2418采用模块化设计,允许客户进行定制和扩展,通过高容量的即时晶圆级测量获得更大的吞吐量,并具有先进的检测能力,能够以高放大倍数检测较小的异常。它还包括多个测量通道，可定制以满足各种测量需求，以实现更快、更准确的测试。TENCOR Flexus F2418还有一个更高分辨率的光学单元用于缺陷检测和分析。这包括从低（1X）到高（64X）的可变放大光学元件,可实现低到8微米的小模具的高分辨率成像。探头定位器计算器可确保更高的测量精度,并为探头位置针和板材相对于样品提供更精确的对准,从而更可靠地进行测试。该F2418具有先进的分析能力，具有针对晶圆级测量、渐进测量周期、确定平坦度、确定厚膜以及其他标记和缺陷特性需求而优化的一系列测量程序。它还包括图像处理和数据模式匹配算法，旨在准确快速地检测微小缺陷异常。该机器还配备了一个名为计量工具箱的集成工具套件，它提供了一套广泛的测量来自动化晶圆级计量。此工具旨在简化评估多个设备产品线上晶片所需的步骤,从而缩短周期并更明智地做出决策。Flexus F2418是一种先进的晶圆测试和计量资产,旨在减少周期时间并提高高容量晶圆级测量的吞吐量。拥有优化的光学、高分辨率成像系统和先进的分析能力，是半导体行业集成电路器件制造和其他高价值制造的理想选择。