二手 KLA / TENCOR FLX-2320 #293597103 待售

KLA/TENCOR FLX-2320是一种灵活、自动化的晶圆测试和计量设备，设计用于对先进的3D半导体结构进行高通量检查和分析。该工具可以检测2.5纳米以下的特征，并对复杂晶圆结构中的关键电和光学参数进行全面分析。KLA FLX-2320使用激光和光学的专有组合来精确辨别半导体层的特征。实时测量和分析激光感应光信号，提供非常精确的特征尺寸、薄膜厚度和其他特性的测量。然后使用扫描电子束系统创建晶圆结构的自动测量和分析（AMAT）图。这使得电子、光学和其他参数的晶圆测量具有很高的精确度。该单元还提供各种过程控制工具。共有32个独立的并行计量通道可用于控制多个过程步骤。此外,机器还可以与标准和专业软件包集成,包括过程控制和测试程序,从而可以无缝集成到其他生产和测试系统中。TENCOR FLX 2320旨在提供高精度的测试数据，减少测量时间，减少浪费，提高工艺产量。该工具具有易于使用的脚本功能和与各种分析程序的兼容性,从而实现了可靠、可重复的测量。而且，该工具对用户友好，具有图形化的用户界面，可以支持经验有限的人员快速、轻松的编程。总体而言,FLX 2320为先进的半导体制造提供了一个可靠、精确的晶圆测试和计量解决方桉。它具有高通量能力和强大的过程控制工具,是各种半导体开发和制造应用的理想选择。