二手 KLA / TENCOR FLX-2320 #293606030 待售

KLA / TENCOR FLX-2320
ID: 293606030
Thin film stress measurement system.
KLA/TENCOR FLX-2320是一种先进的晶片测试和计量设备,其设计目的是为精确分析纳米电子晶片提供无与伦比的精度和分辨率。KLA FLX-2320使用5轴扫描头与被测晶片交互,从而能够精确测量和分析晶片表面上的精确器件元件。TENCOR FLX 2320提供了一套集成的先进成像技术,以提供晶圆缺陷的详细可视化。系统的光学单元使用4倍放大倍率,具有3英寸直径的视场,允许对整个晶圆表面进行精确分析。FLX-2320提供明场和暗场成像,并具有信号优化的光部署功能,可通过一次扫描实现多种图像类型。FLX 2320还包含用于复杂器件测量的可变角度信号衍射(VSD),从而能够精确评估纳米电子结构和器件。这台机器配置了专用的高压电容耦合光学计量级(HCOMS),以收集具有优越信噪比的全方位数据点。KLA FLX 2320有一个集成晶圆处理工具和一个综合晶圆负载/卸载定序器。集成BLSS-5收益管理资产采用自学算法分离可接受和拒绝的设备,确保了较高的收益率。使用KLA/TENCOR FLX 2320进行的所有测量都存储在一个安全且可访问的数据库中,从而允许自动和实时数据访问。TENCOR FLX-2320还采用了一套先进的原位缺陷检查、绘图和表征技术。这些工具允许对微小缺陷进行集成分析和可视化,从而实现更准确的晶圆缺陷检测和增强质量保证。KLA/TENCOR FLX-2320还利用了一整套先进的原位缺陷表征工具。支持自动缺陷跟踪、设备位置和设备分析,可提供高级缺陷分析功能,从而能够精确识别缺陷原因。KLA FLX-2320的高精度光学和扫描功能使晶圆测试和计量达到前所未有的水平。该模型大大提高了晶片测试过程的效率和准确性,同时显着降低了生产成本。TENCOR FLX 2320是市场上最先进的晶圆测试和计量系统之一,提供业界最高水平的性能、精度和分辨率。
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