二手 KLA / TENCOR FLX-2320 #9269304 待售

KLA/TENCOR FLX-2320是一种平面阵列检查和计量设备，设计用于提供集成电路晶片的高精度测量。该系统具有灵活的计量平台,能够执行大量晶圆测试和测量,以确保每个晶圆正常工作。凭借其高端光学技术，KLA FLX-2320还能够检测晶圆表面的小特征和缺陷。该单元具有功能强大的软件套件,旨在提供完整的计量功能。该套件利用运动控制技术，它允许控制操作，如Z高度测量，扫描，聚焦和漂移控制。软件套件还利用其他一些先进技术，如边缘增强、光学轮廓测量和图像分析，以确保测量的准确性。此外，该机还可以与其他机器集成进行非接触面测量。它包括一个扫描头选项,它支持直径从4英寸到12英寸的各种晶圆尺寸。这样可确保该工具可用于需要各种不同测试和测量的应用程序。当与其强大的软件结合使用时，TENCOR FLX 2320为用户提供了快速捕获高分辨率计量数据的能力。此资产非常适合缺陷检查、过程控制、线路监控、临界尺寸、覆盖层和薄膜厚度等应用。它具有高精度的测量能力和灵活的设置，是晶圆测试和计量的理想模型。