二手 KLA / TENCOR FLX-2320 #9292632 待售

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ID: 9292632
优质的: 1993
Film stress measurement system 1993 vintage.
KLA/TENCOR FLX-2320是一种晶圆测试和计量设备,其开发目的是通过先进的计量性能、准确的数据和可靠性来改进IC制造操作。KLA FLX-2320具有独特的光学晶片测量体系结构,以紧凑的空间提供速度和精度。该体系结构包括一次性自动对焦功能、高速X驱动器定位技术、自动计量功能和高级CCD成像传感器。先进的CCD成像传感器具有高分辨率和广域图像捕获能力,使系统能够同时测量不同类型的晶圆特征,并具有准确性和可重复性。TENCOR FLX 2320还具有先进的一次性自动对焦功能,使设备能够精确快速地调整晶圆的焦点,从而使晶圆测量过程的吞吐量更高。此外,高速X驱动定位技术确保晶圆级的快速、精确和随机运动。TENCOR FLX-2320机器具有强大的自动化功能,可消除繁琐的作业设置和数据报告任务,从而简化操作。此工具还包括一个带有基于Windows的软件的交互式PC工作站,可轻松控制屏幕上的权衡功能和数据分析。此外,先进的晶圆级报警功能为连续过程优化提供了实时决策。KLA/TENCOR FLX 2320资产能够测量任意图样的基板、不透明层的显示和基板以及3D曲面和结构。此外,借助完全离线的晶片检测功能,用户可以在不需要额外昂贵设备的情况下检测晶片。最后,该模型符合行业标准,包括SEMI和US Conformity Assurance Level 1 (CAL1)。综上所述,FLX 2320是一款功能强大的晶圆测试和计量设备,可用于改进IC制造操作。它具有先进的一次性自动对焦功能、高速X驱动器定位技术和CCD成像传感器,这些传感器可以以准确和可重复的方式测量各种晶圆特性。此外,系统还提供强大的自动化功能、基于Windows的软件和晶圆级报警功能,以进一步简化操作。
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