二手 KLA / TENCOR FLX-2320 #9293253 待售

KLA/TENCOR FLX-2320是一种晶圆测试和计量设备,专为在线、高通量操作而设计。这个最先进的系统结合了先进的精密算法和光学技术，提供了最高水平的准确性和可靠性。KLA FLX-2320将快速全晶片扫描与高级缺陷检测算法相结合，并提供实时自动缺陷分类。这使用户能够解决广泛的过程、材料和生产管理问题。TENCOR FLX 2320的高级光学单元提供全晶圆计量和测量功能，涵盖了整个已建立的测试参数阵列，如线宽、线缘粗糙度和临界尺寸。这台机器结合了多个光学通道来分析2D和3D地形，并提供局部区域和特征边缘的精确成像。TENCOR FLX-2320还提供了在线、全晶圆扫描操作过程中的自动化精度和可重复性。它配备了对准系统，以确保与被测量的特征精确对准，以及同一晶圆上传感器之间的精确对准。这样可以确保在同一晶片上进行的所有测量都达到相同的精度水平。FLX 2320先进的光学工具使数据的快速传输和处理成为可能,使其适合大批量制造。FLX-2320的高通量能力使其成为晶圆测试和计量的理想选择，并产生了生产领域缺陷趋势的信息。该资产专为高可靠性的洁净室操作而设计,并得到KLA的全面维护计划的支持。KLA FLX 2320极易使用，是当今晶圆测试和计量所必需的。对于需要可靠、准确的在线高吞吐量运营模型的客户来说,它是一个理想的解决方桉。