二手 KLA / TENCOR FLX-2320 #9371825 待售

KLA/TENCOR FLX-2320是一种功能强大且精确的晶圆测试和计量设备,其设计允许精确测量,可用于工业过程控制。该系统配备了最新的一系列最先进的光学和电气技术，提供了测量晶片的最高精度。该装置用途广泛，能够测试各种晶圆材料，从硅到的，并具有测量小结构或大结构的能力，最大晶圆直径可达200毫米。它能够测量晶片的各种物理特性，如厚度、地形、表面污染、表面缺陷以及电气和光学特性。KLA FLX-2320配备了多项尖端技术，如AutoFocus，它允许光学器件在测量时保持聚焦。利用成像和探测器技术的最新技术，TENCOR FLX 2320能够高速提供精确的测量结果。为了保证完美无瑕的性能，该机设计了多种特殊功能。TENCOR FLX-2320采用无损局部激光器和低能离子轰击（LEIB）来精确检测断裂，查明基板层的变化，测量凹坑和凸点，而不影响以前的测量。此外，闭环扫描控制允许被测晶片的精确定位。此外，计量工具被设计为对用户非常方便。利用其自动校准功能,FLX-2320可以使用最少数量的设置,而无需重新校准。资产还具有自动化的数据采集和分析功能，便于设置、比较和排除结果。从生产到过程控制再到质量控制，KLA FLX 2320提供准确可靠的晶圆测试和计量。凭借其先进的技术和特点，能够提供晶圆测量和分析的最高精度和精确度。