二手 KLA / TENCOR FLX-2320A #293754089 待售

KLA/TENCOR FLX-2320A是一种高性能晶圆测试和计量设备，为半导体器件表征和过程控制提供可靠准确的结果。该系统采用先进的光学设计,利用自动化的线性电动机驱动平台,在整个晶圆尺寸范围内准确、一致地测量设备特性。该设备旨在提供快速、准确的缺陷确定、成像和缺陷分析功能,同时确保高吞吐量。KLA FLX 2320 A配备了多项专有技术，在晶圆测试和计量方面提供卓越的分辨率和准确性。该机采用I-DAD接口，代表"集成缺陷分析和检测"，提供了详细的缺陷分析和设备表征。I-DAD工具采用双激光扫描和垂直照明结合多个相机图像，生成晶圆表面的3D图像，快速准确的缺陷大小和识别。该资产还能够用时域反射法测量晶圆上每个器件的电气特性。这增加了模型的计量能力,并提供了有关晶圆上每个设备的电气性能的宝贵见解。TDR通道的加入为用户提供了更深入了解晶圆上每个设备的电气特性的能力。此外，TENCOR FLX-2320-A还配备了先进的图像处理设备，对缺陷进行分类和分类。此功能有助于减少手动检查和分类缺陷所花费的时间,从而提高准确性和吞吐量。系统由Windows 7供电，包含10位灰度CCD，256个灰度分辨率，最高1617 nm/px。晶片级能够容纳高达650毫米的晶片。它还包括一个易于使用的图形用户界面和一个用于自动晶圆处理的内置晶圆外卖机器人。总之,KLA FLX-2320A是一个功能强大且可靠的晶片测试和计量学单元,提供全面的I-DAD接口、TDR通道、图像处理功能和自动晶片处理机等高级功能。该工具旨在提供高性能晶圆测试、计量和缺陷分析功能,以确保准确的结果和高吞吐量。