二手 KLA / TENCOR FLX-2908 #293587953 待售

KLA/TENCOR FLX-2908晶圆测试和计量设备是一种集成的计量解决方桉,旨在提供高速、高质量的晶圆检测和计量。它旨在确保先进的半导体制造操作中晶圆的最佳吞吐量。KLA FLX-2908平台将非常高精度的自动化校准系统的精度与高速、高生产率的测量能力相结合。它利用各种光学、成像和化学传感器进行检查、测量和分析。它还提供了一个集成的内存功能，允许快速和可靠的结果分析。TENCOR FLX 2908利用一个特殊的成像单元，使它能够捕获晶圆表面和背面细节。它具有高横向分辨率和高达10 MHz的图像传输速率，允许在不到10秒的时间内实现8K x 8K的最大扫描速率。使用此机器,用户可以测量和/或检查侧壁结构,检查缺陷夹杂物,检查CD和迭加要求,并检查OPC重迭。该工具还配备了一个独特的温度控制晶圆级，以确保一个极其均匀，精确控制的环境。这有助于确保在各种环境温度下可重复和可靠的性能。KLA/TENCOR FLX 2908还利用先进的对准资产精确定位晶片和模型组件。这是一个关键的组成部分，因为测量的精度在很大程度上依赖于对齐的准确性和可重复性。最后,设备附带了一套用于监视、分析和报告的软件应用程序。这包括一个复杂的分析套件,它可以检测到小至3nm的缺陷,并包括一个复杂的分析库,允许用户自定义检查序列和设置以满足其特定需求。总之,TENCOR FLX-2908晶圆测试和计量系统是一个非常可靠和通用的工具,旨在满足要求最苛刻的半导体制造商的严格要求。FLX 2908具有精确、可重复的对准、高速成像单元、温控级和强大的分析软件,是确保晶圆加工和计量质量和性能的首选解决方桉。