二手 KLA / TENCOR FLX-2908 #9016283 待售

KLA/TENCOR FLX-2908晶片测试和计量设备是一个集成的高精度平台，旨在帮助工程师和科学家以快速准确的结果表征晶片的物理特性。该系统功能强大的专有光学和计算机软件使其能够在1微米范围内测量多个参数,如正面和背面地形、表面形态、晶圆经度、电阻率、反射率或薄膜厚度。它结合了计量、缺陷检测和晶圆取向对齐，为广泛的应用提供了高度可靠的结果和快速的周转时间。KLA FLX-2908利用光源检查和成像装置检测晶片表面的缺陷。这台机器采用光束转向，使晶圆上的每个目标点被三个或更多不同的照明角度融合，形成该区域的独特图像。然后，它的专有成像技术将原始阵列处理成有意义的物理数据，以量化各种表面特征，从详细的地形图到缺陷区域的总线计数（TLC）图，再到TLC识别区域的电阻率图。该工具还能够在基板的正面或背面进行晶圆翘曲和厚度测量。其波前分析技术能够确定基板曲率的精确程度，这对于先进半导体元件的生产具有重要意义。TENCOR FLX 2908还将计量和缺陷检测整合到单个资产中，使用户能够同时测量同一晶圆的多个属性，提供对基板物理特性的全面表征。它的全天候监控功能可以在潜在问题发生之前进行检测,并有助于增加正常运行时间和减少设备停机时间。FLX-2908非常适合需要对晶圆物理特性进行可靠和快速表征的工程师和科学家。其先进的光学和图像处理功能为用户提供了广泛应用的高度准确的结果,而其计量和缺陷检测的集成则允许对单个晶圆进行全面的物理特性表征。