二手 KLA / TENCOR FLX-2908 #9199147 待售
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ID: 9199147
Thin film stress measurement system, 3"-8"
Handler type: Wafer
Dual wavelength scanning
Room temperature: 900°C
Scan length: Up to 200 mm
PC With configuration:
Pentium processor: 133 MHz
RAM: 16 MB
Hard drive: 2.0 GB
SVGA Monitor
Hardware: Signal light tower
(2) User manuals
Accessories:
150 mm Certified wafer pair
200 mm Certified wafer pair
SECS/GEM Interface user manual
Power source: 208-240V, 50/60 Hz
CE Marked
2001 vintage.
KLA/TENCOR FLX-2908晶圆测试和计量设备为计量和过程控制提供了完整的端到端解决方桉。KLA FLX-2908将高级远程中心计量学功能与一套功能强大的过程控制软件集成在一起。系统可以针对客户的各种流程要求进行配置,如CD、形态、地形、反射率和阵列测量。TENCOR FLX 2908具有独特的精确度和速度交融,可以满足要求最苛刻的产量要求。采用高端PC平台供电的晶圆级测试系统,拥有集成的16通道光头和高功率白光成像源..它包括可变数量的视觉子系统和一个或多个高精度的远程中心计量系统,包括视觉通道选择器,用于视觉系统之间的快速切换。此外,还有一个综合校准工具用于表面检查,以提供最大单位精度。KLA FLX 2908具有接地良好的PC机器,允许用户远程控制和监视工具,包括资产维护。还包括全自动晶片测试处理程序、光头、视觉子模型、计量软件套件、测试自动化软件和诊断诊断套件。TENCOR FLX-2908能够容纳多达16个直径从8到200毫米的晶圆。设备配备了先进的计量能力,用于图形、成像和材料表征。它可以提供地形和缺陷映射等图像质量测量,以确保最高产量,同时提供最准确的结果。KLA/TENCOR FLX 2908还提供了旨在提高系统速度和最小化测试时间的功能。高端扫描加速器利用创新扫描算法的多通道架构;显着提高吞吐量而不牺牲精度。这允许精确测量各种物理特性,从粒子缺陷到表面变形特性不等。此外,高精度静电传感器为所有测试晶片提供精确的测量。先进的计量能力、单位速度和高达1纳米的精度都结合在一起,使机器具有很高的可靠性和效率。此外,它的高级功能(包括直观的GUI软件和单击操作)允许轻松、轻松的操作。FLX-2908是寻找完整晶圆测试和计量工具的客户的绝佳选择。
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