二手 KLA / TENCOR FLX-2908 #9385708 待售

KLA/TENCOR FLX-2908是专门为高级晶圆级缺陷检测而设计的晶圆测试和计量设备。它在单个系统中提供高速和高分辨率的组合,使前期成本和经常性费用保持较低水平。该单元能够检查给定晶片上的许多模具,从而能够同时测量临界尺寸（CD）和电测量参数（E&S参数）。此外,这台机器还集成了多种产品的板载测量工具,这意味着它可以在晶圆上自动测量多种特征类型（包括攻击性特征和参数密集型特征）。KLA FLX-2908以高达5 µm的CD/XP分辨率检查和测量所需的参数。它实现了复杂的成像、图桉匹配和3D高度轮廓测量算法，在不牺牲测量速度的情况下检测细微的缺陷。此资产包含多种板载计量技术，如光学CD/XP测量、2D拓扑特征测量和其他计量技术。它还包括一个以缺陷和污染检测为重点的集成高倍率检测模型。该设备还可以容纳未来的检测平台，如光学缺陷检测。TENCOR FLX 2908具有卓越的CD/XP测量、无与伦比的精度和高可靠性。其溷合计量系统具有广泛的测量范围、灵活的检测能力、高吞吐量等特点。此外，它还提供了一个自动化的校准过程，使得能够频繁和精确的计量测量。此单元还包括增强的SPC功能、改进的模内测量可重复性以及自动数据保存/恢复机器。此工具的外形尺寸较小,集成了机器人技术,甚至可用于小型清洁室。它的设计实现了任务自动化,使用机器人运输来回移动晶片和元件,以实现快速、轻松的检测/计量。最后,TENCOR FLX-2908采用了先进的统计过程控制（SPC）软件,该软件有助于数据收集、分析和报告,以确保质量一致。