二手 KLA / TENCOR FLX-5400 #293623331 待售

KLA/TENCOR FLX-5400代表下一代晶圆测试和计量系统。这种多功能、高性能的设备非常适合生产和研发应用。它能够同时测试各种晶圆结构，从200毫米到450毫米。它拥有行业最高水平的产能之一，有能力支持最新的计量方法，如自动处置反馈回路和集成缺陷审核机制。KLA FLX-5400具有多项创新设计功能。该系统利用一个独立的机器人机械手，它可以移动到9个自由度，以实现3-D对准和晶圆处理。照明单元实现多个LED源以最小化可变性，而专有的优化算法则在整个视野中保持成像均匀。这有助于确保准确的测量结果。该机还利用KLA先进的多光谱频闪成像技术。这种技术使用宽带激发和三个经过校准的相机来捕捉每个晶片层的光谱和角度信息。强大的处理器随后将这种多频谱数据组合到一个测量通道中。这样可以快速、准确地测量晶圆特征,如表面地形、活动区域、邻近和边缘。对于缺陷表征,TENCOR FLX 5400包括许多高级工具和算法。该工具利用Auto-Ready技术，该技术允许用户快速设置各种检测、分类和分析算法。这包括过程监测、疾病分析、应力和应变分析以及光学显微镜等特征。KLA/TENCOR FLX 5400包含一个强大的软件包,它提供了分析和报告每项测量结果所需的所有工具。这包括用于数据过滤、统计、报告、趋势分析和相关性的工具。此外,该资产还集成了SmartDefects Plus,这使得检测和隔离缺陷以及应用纠正措施变得容易。此外,KLA FLX 5400具有广泛的应用程序灵活性。用户可以配置模型来处理任何类型的晶圆结构,甚至可以容纳可能需要额外设置的结构复杂的基板。此外，它能够以单片和盒式到盒式两种配置运行，因此非常适合各种生产过程。总体而言，TENCOR FLX-5400是一种高度先进的设备，能够进行高精度的计量和缺陷分析。该系统非常适合各种生产级晶圆测试和计量应用,为当前和下一代晶圆测试需求提供了许多好处。