二手 KLA / TENCOR FLX-5400 #293648854 待售
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KLA/TENCOR FLX-5400是一种先进的晶圆测试和计量设备，在纳米级提供精确度和高通量性能。它有效地识别浮动基板中的颗粒和缺陷，包括光掩模和平板显示器。该系统的设计目的是在较小的测量周期内进行测试，并且能够50X比常规单元更快地识别缺陷。KLA FLX-5400使用先进的高分辨率成像技术来测量基板上的颗粒和易缺陷区域。它结合了自动粒子检测算法来识别和自动对焦这些区域，以确定它们的大小、形状和位置。此外,该机器还具有强大的分析功能,可跟踪和报告单个晶圆的测量结果。该工具采用光学和声学技术相结合，精确识别晶圆上的粒子。它结合了一个传感器阵列和先进的算法来检测微粒到0.1微米的大小。资产还使用光学计量技术，如自上而下的扫描，准确识别粒子。该模型可以测量各种材料中的粒子，如硅、玻璃和金属。其设计符合高容量晶圆制造工艺的严格要求。该设备配备了一个精确的自动对焦功能，适应基板地形变化。此功能有助于减少微粒测量时间并提高吞吐量。该系统专为1类洁净室环境中的全天候操作而设计。TENCOR FLX 5400是一种经济高效的解决方桉,可轻松集成到生产设施中,满足晶圆测试和计量需求。它能够每小时测试数百种基材。此外,该设备还支持一整套软件、硬件和服务,旨在优化性能和产量。该机器可通过提供自定义选项的选项和附件进行升级。
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