二手 KLA / TENCOR FLX-5400 #9031780 待售

KLA/TENCOR FLX-5400是一种先进的晶片测试和计量设备,旨在以卓越的精度和可重复性执行最复杂的晶片测试和计量任务。该系统非常适合包括5 nm应用程序在内的高级节点。KLA FLX-5400结合了光学和数字成像、物理测量以及高级过程分析功能,以提供高度准确和可靠的计量和晶圆测试结果。此单元与Emerge™ 5000 Advanced Metrology Platform集成在一起,这是一台灵活开放的机器,允许用户根据应用程序要求选择最佳的计量解决方桉组合。该平台包括一套高性能的过程分析工具,如快速缺陷审查、跟踪分析和表征,所有这些工具都具有超低的检测阈值和前所未有的空间分辨率。该工具的自动化和机器人技术实现了高容量、重复性计量和晶圆测试任务的经济高效自动化,从而实现了高度可重复和可靠的结果。该资产采用高精度动态聚焦控制，可实现连续快速的自适应聚焦和图像采集。它还包括精选的自适应光学和数字成像技术以及集成的AFM/SPM功能,用于多功能缺陷成像和分析。对于物理测量,该模型与世界领先的计量工具集成在一起,这些工具包括涡流临界尺寸、焦点/散焦、蚀刻深度和层/膜厚度计量功能。TENCOR FLX 5400提供了一个功能强大的过程故障检测和分析工具箱,其中包括晶圆和/或模具的SEM图像以实现快速的细粒故障诊断,实时数据分析以将过程和产品指标与测试结果相关联,以及自动故障检测和分类的统计过程控制。最后，设备配备了各种先进的报告和数据输出选项，以便能够准确和自信地与上游和下游集成伙伴共享数据和测试结果。用户可以轻松配置一系列报告选项,包括基于角色的访问控制,以实现对数据的安全和精细访问。这种最先进的晶圆测试和计量系统是高级节点等的终极诊断工具。