二手 KLA / TENCOR FLX-5400 #9271456 待售

KLA/TENCOR FLX-5400是专门为半导体工业设计的高精度晶圆测试和计量设备。它可用于测试晶片基板的各种参数，如模具厚度、模具键合垫尺寸和模具平整度，以及检测和测量块状和薄膜结构的缺陷。KLA FLX-5400利用可变运动运动学，快速高效地准确捕获晶圆数据。这项技术还允许精确测量现代膳食的关键特征，如芯片和基板设计特征以及粘合垫尺寸。TENCOR FLX 5400是一种高度可靠的晶圆测试和计量系统。其先进的算法、纳米编码器和运动控制能力使其能够准确分析和测量晶圆的完整性。它可以检测和测量最关键结构上最小的特征尺寸和缺陷，如晶体管和存储单元。该单元包括一个自动化的数据处理机器，以快速存储、分析和报告测量的晶圆数据。该工具具有4.5 μ m的分辨率，可以研究晶圆上小特征的完整性。其集成成像资产可以捕获整个晶圆区域的高分辨率图像，允许研究各种材料结构和缺陷。该成像模型采用高分辨率数字成像头，配有专门的激光照明和自动聚焦光学器件。该设备还包括用于数据分析和报告的功能强大的软件工具。这些工具可以自动生成条形图和直方图,以快速可视化晶圆数据并检测异常点。软件还可以比较多个晶圆图像和测量缺陷密度。FLX 5400在行业标准机器中提供了最高级别的晶圆测试和计量功能。其卓越的性能和可靠的操作使其成为半导体制造的理想解决方桉。