二手 KLA / TENCOR FLX-5400 #9299886 待售

KLA/TENCOR FLX-5400是一种先进的晶圆测试和计量设备,使用户能够获得前所未有的精确度和生产率,用于对半导体材料进行修补、测量和检查。它具有超高分辨率、快速XY扫描系统、自动晶片处理、多用途Z级、高精度光学元件以及先进的软件算法,可实现精确可靠的图样和计量。KLA FLX-5400能够测试和测量广泛的材料，包括SOI、应变硅、多晶硅、氮化硅和其他的薄膜。为高对比度操作提供抗反射涂层和清晰成像。此外，它的快速XY扫描单元允许快速横向和横向运动，使吞吐量达到每小时6个晶圆。坚固的Z级由低噪声、高精度的直线电动机级驱动,在宽温度范围内可靠稳定。这样可以在整个高度范围内确保一致的可重复性。Z级还提供低致动力,最小步长小于1 nm。TENCOR FLX 5400具有双轴对准、衍射光学、高级镜头和模块化设计的超高分辨率光学成像机。该工具提供卓越的图像分辨率,测量分辨率小于0.1 µm。它还包括一个自动化采样资产,用于快速、方便的采样处理。KLA FLX 5400结合了多种软件工具，以优化用户体验并确保准确性。它包括用于临界尺寸测量自动化和自动生成报告的过程控制软件。它还具有一台用于自动图像捕获和控制的车载计算机以及一个后处理图像分析和检查软件包。FLX 5400是一种先进的晶圆测试和计量模型，适用于半导体行业的应用。它提供卓越的图像分辨率、快速的XY扫描以及低噪声、高精度的Z级,可实现可靠的重复性和准确性。此外,它的高级软件工具能够实现流程自动化和优化用户体验。这使得它成为高精度计量检验的完美解决方桉。