二手 KLA / TENCOR FOUP Handler for SP1 / F5X / Spectra FX #9240599 待售

用于SP1/ F5X/Spectra FX的KLA/TENCOR FOUP处理程序是一种现代晶圆测试和计量设备。该系统在高级级别上有效地对晶圆、基材和其他材料进行在线测试和计量。KLA FOUP Handler设计用于快速可靠地分析感光材料和其他晶片如硅、液晶显示器（LCD）、薄膜晶体管（TFT）显示器和非易失性内存（NVM）。它是一套完整的自动化软件和硬件,具有精确的阶段、运动、视觉和成像功能,可满足半导体制造商的需求。用于SP1/ F5X/Spectra FX单元的KLA FOUP处理程序利用先进的专有光学技术,在没有物理接触的情况下精确分析晶片,从而最大程度地减少对敏感介质的损坏。其嵌入式光学传感器检测和跟踪尺寸和厚度各异的晶片，同时使用热应变有源光学器件进行精确的角度测量。这样可以以更高的帧速率进行精确的测量,从而带来前所未有的计量性能。TENCOR FOUP Handler还提供全面的检查解决方桉,符合行业标准E10/11或等效的EN/IEC 61215。晶片内置的4M像素、4K分辨率成像，可以快速可靠地检测缺陷，包括边缘缺陷、桥接缺陷、圆形缺陷、浮渣圆、划痕、颠簸、空隙和其他污染物。成像机进一步集成了内置的模式识别和护带自动检测功能，以评估灰色缺陷、颜色缺陷和皱纹缺陷的存在。KLA/TENCOR FOUP Handler的嵌入式信号处理功能进一步洞察材料属性。FOUP处理程序包括用于临界薄/厚膜测量、颜色、纹理、双折射、表面覆盖、焦点深度、平面度、纹理、位错、图样分辨率、晶圆平面度、材料特性、图像对比度、模具尺寸精度和方向的标准算法和计量操作。此外,KLA智能监控和缺陷控制工具可实现跨晶圆的自动计量,而实时数据输出允许用户评估产品性能和过程参数。TENCOR FOUP Handler for SP1/ F5X/Spectra FX是一种高效、可靠、坚固的工具,设计用于晶圆和其他敏感基板的精密价位和计量。它允许快速检查和监视结果,允许用户执行快速决策和产品分析。因此，TENCOR FOUP Handler是任何专门从事晶圆测试和计量的商业或研究设施的重要组成部分。