二手 KLA / TENCOR FT-500 #9214047 待售

KLA/TENCOR FT-500是一个先进的晶圆检测和计量系统,提供高级功能,包括内联缺陷审查、高通量和高分辨率成像。具体来说，KLA FT-500总共提供500个晶圆对齐器，允许每个站每小时最多8个晶圆，容纳12"、8"和6"晶圆。通过集成光学和LED，可以产生高达1.6um的图像分辨率，最大视野为500 mm。TENCOR FT-500配备了Automated Defect Review （ADR）系统,可实现内联自动缺陷审查,并提供CD、线缘粗糙度和任何其他局部或全局参数等推断参数的直观表示。此外，它还支持CD测量的各种光学技术，并实现晶片对晶片M1（层或测量）的同时匹配。在照明方面,FT-500采用高级照明选项,如高分辨率亮场、暗场、背光和上光照明,以及一系列LED和滤镜选项来捕获任何可变晶片图样。此外，它的自动光束剖面仪和扫描参数调整使设备能够控制光束状况并获得均匀的扫描。在图像分析和增强方面,KLA/TENCOR FT-500具有自动化特征搜索、图像锐化、图像分割和自动特征分类等高级功能。此外，还包括测量图形等图像测量工具和提高图像识别精度的工具。在吞吐量方面，KLA FT-500在批处理模式下运行时每小时最多可执行1000个晶片，而在扫描模式下则每小时最多可处理20个晶片。为了进一步优化吞吐量性能,它还具有自动缺陷检测功能,有助于缩短设置时间。最后,TENCOR FT-500配有多种配件和组件,便于安装和维护。总体而言，FT-500检验计量系统为晶圆检验计量提供了最高水平的精度和吞吐量。它具有先进的照明、图像分析和测量工具，旨在提高产量和降低成本。