二手 KLA / TENCOR FT-600 #9081978 待售

KLA/TENCOR FT-600是一种用于微电子制造的晶圆测试和计量设备。它提供了用于测量和分析广泛的晶片特性的高级功能，包括电气、光学、化学和热特性。该系统可配置为满足流程控制要求和特定于应用程序的需求。它旨在实现对各种材料晶片的快速、准确和可重复的测量,并快速表征各种集成电路。该装置配备了一套高速naoccam相机，用于以纳米级分辨率成像晶片。成像机可以测量晶片的电性能，确定是否符合规格，额外的光源在整个测试过程中提供晶片的光学监控。它包括色彩校正工具和CCD阵列，用于三维缺陷检测。该资产高度自动化,能够准确解释数百个测试图像,只需用户提供最少的输入即可提供有用的生产信息。KLA FT-600还包括一个可靠的数据处理模型,它可以提供在单个工艺站执行的多个测试的集成结果。利用阻抗和电容测量，可以进行详细的工艺分析。设备的机载分析软件允许测试结果与特定掩码快速关联，从而促进过程优化。有一系列化学和热计量选项，如板载质谱仪和用于测量薄膜的红外温度传感器。总体而言，TENCOR FT-600是需要更高精度和重复性的测量结果的电子设备制造的理想选择。它提供了一套全面的晶圆测试和计量能力，帮助半导体、光伏和光电制造商创造出更高效可靠的产品。