二手 KLA / TENCOR FT-600 #9376730 待售

KLA/TENCOR FT-600是一种全自动晶圆测试和计量设备，旨在提供先进半导体器件测量的最佳可靠性和准确性。KLA FT-600采用最新的高级高分辨率成像和涂层技术,为各种计量目标提供卓越的性能。该系统由两个主要组成部分组成：执行计量、电气和光学测量的综合子系统（IS）和提供测试和计量所需的高级涂层能力的自动涂层子系统（ACS）。IS模块包括一个40 nm分辨率的成像模块,用于生成尺寸可达300 mm的晶片的高分辨率图像。高级算法用于分析这些图像,以测量垂直尺寸轮廓、表面粗糙度以及缺陷大小和数量等关键参数。该单元还包括一个电气和光学子模块，可以测量欧姆接触电阻、二极管和MOSFET参数剖面、跨导以及其他设备参数值等电气参数。该子模块还包括一个光谱响应测量机来测量光学特性，如光谱反射率和透射率。ACS包括一个先进的磁悬浮电动机驱动的涂层单元，涂层样品高达300毫米。该涂层单元提供光刻胶等保形涂层等材料的光滑、均匀、高精度涂层，与多种光刻等湿法化学工艺完全兼容。该单元还配备了集成的环境和真空控制工具，以确保最佳涂层性能。此外,TENCOR FT-600还包括一个高级软件套件,用于集成所有资产组件。此软件套件提供流程自动化、产量优化、数据采集和分析、报告生成以及其他功能。FT-600的设计符合最高的质量和可靠性标准，适合各种计量和生产应用。其先进的成像和涂层性能,加上强大的软件套件,使其成为满足半导体行业苛刻需求的理想解决方桉。