二手 KLA / TENCOR FT-750 #136435 待售

KLA / TENCOR FT-750
ID: 136435
晶圆大小: 8"
优质的: 1994
Film thickness measurement system, 8", 1994 vintage.
KLA/TENCOR FT-750是一种晶片测试和计量设备,用于评估晶片芯片组的性能。该系统包括用于检测和分析集成电路(ICs)缺陷的各种高级测试和计量组件。KLA FT-750可用于测试、测量和验证制造前和制造后晶片芯片组。TENCOR FT 750具有自动高分辨率显微镜,用于检查晶圆表面,使操作员能够无缝放大样品的细节,而无需交换目标。显微镜还配备了自动6轴定位装置,使操作员能够快速准确地高精度地测量和记录精细特征。此外,KLA/TENCOR FT 750拥有一台高速串行数据采集机,用于获取和存储从晶圆样本中采集的测试数据。此工具具有高度可配置性,可进行调整以满足各种测试应用程序的要求。此外,FT 750还包括SMARTSort技术,可帮助对测试过程中发现的缺陷进行分类和分类。KLA FT 750还包括一套功能强大的软件工具,可以用来分析收集到的晶圆样本数据。这些软件工具支持测试数据的自动和手动查看、统计分析、偶极分析、缺陷分类和故障检测。通过分析收集的数据,工程师可以在解决潜在的设计问题和提高IC的整体质量时做出明智的决策。FT-750还设计用于广泛的粗糙度测量,使其能够测量晶圆IC的精确表面形状。这一资产非常适合测量凹凸结构和死层厚度的根域。此外,该模型还具有尺寸测量能力,包括基于光学、电学和原子力显微镜的方法,利用离轴成像和电压对比度方法来可靠地测量集成电路的厚度和形态。综上所述,TENCOR FT-750是为检测和分析集成电路中的缺陷和其他特性而设计的综合性晶圆测试和计量设备。该系统具有自动化的高精度显微镜、高速串行数据采集单元、SMARTSort技术和强大的软件工具。这台机器非常适合测量晶片的确切表面形状以及它们的根场和死层厚度。
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