二手 KLA / TENCOR FT-750 #293652818 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX FT-750是一种晶片测试和计量设备,旨在提供300 mm和更大半导体晶片的精确、可靠和可重复的测量结果,并在生产环境中进行模具测量。该系统提供全面的测试功能，包括自动缺陷检查、自动粒子分析、光学和电气测量、迭加、缺陷辨别和故障分析。KLA FT-750是一种高精度、自动化的单元，利用计算机控制的多传感器干涉仪、电荷耦合器件摄像头、高速链接的机器人子系统和精密的用户界面。TENCOR FT 750交付的干涉仪是一台高精度成像机，包括光电工具、干涉仪、机械级和机械手，能够从不同角度对半导体结构进行成像。这一资产包括一种先进的傅立叶变换干涉仪，旨在在包括光刻、过度蚀刻、前端线（FEOL）和后端线（BEOL）在内的广泛应用中精确测量和成像各种程度的地形和光学对比度变化。CCD相机提供了高分辨率图像在广泛应用中所需的稳定性和准确性。金属密封机器人子系统有助于在干涉仪和用户工作台之间快速、准确地加载和卸载晶圆,而且高度直观的用户界面允许使用预定义的特征和测试过程配方实现自动测量序列。KLA FT 750模型还包括完整的统计分析功能,能够测量由于开发和生产过程而导致的特征轮廓变化。这些功能以及准确的缺陷成像功能可实现可靠的缺陷分类和表征。该设备还包括一套全面的系统管理工具，包括计量过程监控、自动化操作员提示功能、性能和测量顺序优化以及错误报告。这一通用而全面的单元允许用户访问所需的数据,同时消除了手动步骤并缩短了周期时间。总体而言,FT-750是一台先进的晶圆测试和计量机器,可提高自动化程度、提高准确性和可靠性,并提高吞吐量。该工具提供了一系列全面的功能,允许用户在生产环境中监视和收集数据,同时还提供全面的统计分析功能。该资产的用户界面允许自动测量序列以及简化缺陷分类和表征,使其成为半导体应用的理想解决方桉。