二手 KLA / TENCOR FT-750 #9155148 待售
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ID: 9155148
Wafer thickness measurement system, 4"-8"
Voltage: 115 V
Frequency: 50/60 Hz
Current: 1250 W
2000 vintage.
KLA/TENCOR FT-750是一种用于检测半导体晶片和器件的高精度晶片测试和计量设备。它对各种晶圆类型和尺寸（包括裸机、阵列和封装设备）提供缺陷检查、设备测量和层厚度测量。KLA FT-750具有强大的蔡司光学系统,具有大面积探测器和亚微米分辨率,非常适合检查晶圆和半导体器件最微观特性的艰巨任务。TENCOR FT 750利用高速、高精度的光束定位单元扫描晶圆或器件上的各种特征,包括缺陷、杂质、污染物和缺陷。此外，该机器还配备了各种各样的自动化工具，包括真空晶片盒和自动对准工具，用于不间断的自动化测试。FT 750功能强大的自动化多参数计量工具能够精确确定晶圆和器件上层的薄膜厚度、速度和电阻率。这确保了符合最严格的高科技设备规格。此外,KLA/TENCOR FT 750还提供最先进的视觉检查功能,包括0.5 µm以下的光学分辨率。FT-750具有许多先进的控制技术,包括直观的软件和符合人体工程学的机柜。资产的内置电子校准模型简化了常规校准和维护的过程。该设备能够一次捕获和分析多达500个参数，使其成为最强大、效率最高的晶圆测试系统之一。总之，KLA FT 750晶片测试和计量系统为测试和监测晶片和半导体器件的质量提供了最高的精度和准确性。其强大的自动化多参数计量单元和最先进的视觉检测能力确保了最严格的高科技设备规格得到满足。
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