二手 KLA / TENCOR FT-750 #9155149 待售
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ID: 9155149
Wafer thickness measurement system, 4"-6"
Voltage: 115 V
Measures:
Single
Multilayer films
410" - 800" Reflectivity range contour
Die
3D Mapping
COGNEX 3100-4MB
Vision system version: 1.20A
Olympus MS plan:
2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x
Auto focus: 1.5-5
Second measure time integrated
(2) Cassettes elevators
Wafer sorting capability
Integrated finder vacuum reset
Frequency: 50/60 Hz
Current: 1250 W.
KLA/TENCOR FT-750是一种最先进的晶圆测试和计量设备，可以提供半导体晶圆、IC和组件的综合分析。KLA FT-750设计用于协助晶片制造过程,如光刻、粘合、薄膜沉积和蚀刻,快速测量和表征各种关键参数,并获得准确和可重复的结果。TENCOR FT 750系统基于将光学显微镜、扫描电子显微镜和其他计量技术结合为一体的先进平台。该设备具有自动晶片负载和定位功能,可提供业界领先的吞吐量、卓越的精确度以及计量、成像和3D轮廓测量的可重复性。此外,该机器还能够精确地测量几个关键晶片参数,包括表面粗糙度、粒数、缺陷密度、薄膜厚度、临界尺寸等。KLA FT 750配备了自动晶圆映射、超精确Z轴以及功能强大、基于PC的控制工具等几种基本工具和组件。此外，CCD成像资产采用高分辨率元件和先进软件算法构建，用于快速、准确、可重复的成像和分析。该模型的直观控制设备使操作员能够快速高效地设置、校准和控制测量。KLA/TENCOR FT 750是一个坚固、可靠、准确的系统,在各种晶圆测试应用中提供卓越的质量结果。它具有用于精确运动控制的超平滑晶圆旋转机构,以及用于缺陷和粒子特性分析的专有软件,可实现复杂的3D重建。凭借其自动化的映射能力，FT 750可以在一个通道内高效测量多个关键参数，此外，该单元设计具有高精度和重复性。TENCOR FT-750得到KLA着名客户服务的支持,以及一系列旨在使机器保持最佳状态的技术和培训支持。因此,FT-750是各种晶圆测试应用程序的理想选择,可提供可靠高效的结果,使工程师能够优化流程质量和性能。
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