二手 KLA / TENCOR FT-750 #9173658 待售

KLA/TENCOR FT-750是下一代晶圆测试和计量设备。它旨在满足半导体器件制造中不断增长的吞吐量和精度要求。它配备了先进的光学、运动控制、数据收集和分析能力，所有这些都由先进的系统架构进行监控和控制。该单元利用一个强大的成像引擎来生成超高清晰度和分辨率的亚微米图像。成像引擎由一台高解析度数码CCD相机、Autofocus TM镜头和一个增强型LED光源照明组成。改进后的成像机实现成像能力高达16倍以前型号的分辨率。KLA FT-750拥有一种创新的光学计量学工具，可以精确测量各种关键设备特性。综合计量资产利用亮场和暗场成像系统，结合三维点扫描，测量横跨晶圆小至0.2微米的特征。TENCOR FT 750的成像和计量能力得到了一个健壮的运动控制模型的补充。该设备由三个驱动级组成,可提高晶圆定位精度.此外，还采用了复杂的基于视觉的对准系统，以确保将图像准确地配准到测量中。FT 750单元的内部数据收集和分析功能使用复杂的算法来表征缺陷位置、大小和形状。这些算法与强大的数据库工具和自动缺陷分类相结合，有效地分析和报告测试结果。该机器设计用于与其他半导体测试和计量设备的集成，允许高效的数据传输和报告。TENCOR FT-750还能够利用现成的软件工具帮助报告测试结果和其他分析任务。总体而言FT-750是一种先进的晶圆测试和计量工具，具有创新能力。其强大的成像、计量、运动控制和数据收集/分析功能提供了高度准确和可靠的晶圆特性。该资产能够提供满足下一代半导体晶圆制造要求的功能。