二手 KLA / TENCOR FT-750 #9377280 待售

KLA/TENCOR FT-750晶片测试和计量设备是一套综合硬件和软件，用于检测和测量先进晶片制造工艺。它将先进的计量和缺陷检测技术结合到一个系统中，以进行高精度、高通量的晶圆测试和计量。KLA FT-750通过基于视觉的检测技术和自动无损晶片测试对整个晶片表面和在线计量进行自动检查。TENCOR FT 750具有高速扫描能力和单个单元中的多种工具,能够快速准确地检查晶片的缺陷并对其进行表征。该机还包括KLA Advanced Inspection Technologies （AIT），它为每个刀具提供独立于平台的缺陷检测和标准操作软件（SOS）以及TENCOR缺陷诊断工具（DDS）的缺陷诊断。独立于平台的AIT技术有助于弥合SEM映像中可见的特征与相关缺陷趋势之间的差距。KLA FT 750由晶圆测试站、晶圆计量站和扫描仪三部分组成。晶圆测试站配备了强大的摄像头资产，提供晶圆的快速检测和计量。扫描仪是一种高速、多轴的机器，负责扫描晶片，然后将图像传输到晶片计量站。晶圆计量站是模型的主要主力军，将晶圆检测和计量技术结合成一个平台。它配备了两个晶圆检查任务--一个光学检查站和一个扫描电子显微镜（SEM）--以及四个自动计量任务。自动化计量任务包括电阻率测量、迭加测量以及AFM成像和深度剖析。FT 750晶圆测试和计量设备为晶圆测试和计量提供了高效的系统。其集成的硬件和软件能够对晶片进行快速、准确的检查和测量，以实现最大产量和过程控制。凭借其AIT技术，以及高速扫描能力和多种工具，FT-750是晶圆检测和计量的理想选择。