二手 KLA / TENCOR FX 100 #9240150 待售
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KLA/TENCOR FX 100是一种顶级的计量和晶圆测试设备，设计用于提供半导体材料的精确测量。该系统提供先进的技术，为晶圆测试和计量提供最准确的结果。KLA FX 100具有高分辨率的成像传感器单元，用于精确测量半导体晶片的特性。这台机器可以测量到亚微米尺寸的材料特征。此外，该工具还配备了高分辨率成像资产，以便能够产生晶圆的精确三维视图。这允许用户精确测量Critical Dimension （CD）。该模型还利用高速、多轴级精确成像完整的晶圆测试区域。对于非接触式计量，设备还配备了一个健壮的非接触式计量模块，可以测量晶圆的表面地形和缺陷特征。非接触式计量模块能够识别各种缺陷类型,包括凹坑、位错、阶梯切口和空腔。该系统还配备了高度先进的晶圆验证单元，以确保晶圆测试结果的准确性和可靠性。晶圆验证机能够对晶圆进行全面的电气和机械测试。这些测试包括半导体器件表征、电气参数测试和各种完整性测试。该工具甚至可以在测试前验证晶片的完整性。TENCOR FX 100还拥有自动晶圆处理资产，为晶圆测试提供速度和精度。该模型能够快速可靠地加载和卸载晶片。再者，设备有一个自动化的配方系统，最多可以储存50个配方，让操作员探索测试参数的不同组合。为了增加用户便利，FX 100单元还具有基于Windows的图形用户界面（GUI）。这允许用户通过直观的界面快速访问和控制机器的各种测试操作。GUI还提供自动化的数据分析工具,以便能够快速准确地评估测试结果。KLA/TENCOR FX 100是业界领先的晶圆测试和计量工具,它提供创新技术和先进功能,以确保获得最精确和准确的结果。其高分辨率成像资产、非接触式计量模块、晶圆验证、自动晶圆处理和自动配方模型，使其成为晶圆测试和计量的可靠而坚固的设备。
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