二手 KLA / TENCOR FX 100 #9246541 待售

KLA/TENCOR FX 100是一种先进的晶圆测试和计量设备,旨在提高产量并降低半导体制造的废品率。它利用光学干涉仪、扫描电子显微镜和自动缺陷检测系统的组合来检测和测量各种半导体晶圆类型上的不同类型的缺陷。KLA FX 100系统配置包括两个扫描头：一个大场干涉仪和一个高密度光学显微镜。这些扫描头配有选择的光学干涉仪、数字成像单元和长距离显微镜。机器的设计将精密计量与测量角度、距离和方位角的能力结合在一起，具有可靠的重复性。它能够从整个视场中捕获数据，测量误差低，在各种各样的晶圆类型上精度高。在缺陷定位和测量方面，TENCOR FX 100工具采用先进的光学和电子显微镜以及自动检查系统。这些传感器可以检测和测量各种类型的缺陷，如颗粒、空隙、位错、表面不均匀和结构受损区域。FX 100还具有自动测量、统计分析、晶圆映射、产量分析和缺陷跟踪工具。为确保半导体制造中的质量控制，KLA/TENCOR FX 100可以使用多种迭加和对准技术精确测量所有类型的半导体晶片。为了减少自动化和手动测试的数量,KLA FX 100资产配备了一个集成的计量控制台。该控制台包括一个自动计量界面,用于有效的缺陷定位和测量。该模型还包括一个高通量的机器人晶片处理程序，它设计用于快速晶片处理和快速应力测试。TENCOR FX 100是测试和计量的集成设备，旨在帮助提高半导体制造的产量并提高生产效率。该系统先进、高精度的光学和电子显微镜与自动检查系统相结合,能够识别和测量各种缺陷,而集成的计量控制台和自动晶圆处理器可减少测试时间和成本。为了确保半导体制造的质量控制，FX 100晶圆测试和计量单元是一个强大而可靠的解决方桉。