二手 KLA / TENCOR FX 200 #293628442 待售

KLA/TENCOR FX 200是一种晶圆测试和计量设备，设计用于半导体的制造和检验。KLA FX 200建立在一个正在申请专利的光学成像系统之上，该系统使用激光、显微镜和先进光学器件来创建一个聚焦成像单元，能够执行到纳米级的计量任务。该机具有高分辨率成像、测试结构在基板上的测量和定位四个通道，支持覆盖、高度、平面和形状测试等先进表征的多种测量技术。TENCOR FX200工具能够测量芯片上20纳米尺寸的特性,同时保持高精度、高分辨率和高吞吐量。它整合了光显微镜、干涉测量、地形和散射测量等几种高分辨率成像技术来分析晶片和基材。这种光学成像、基于激光的计量和具有精确光刻功能的定位相结合,使资产能够精确测量各种图桉、形状、方向和大小的10 nm大小的特征。FX 200还包括一个自动校准模型，可以精确测量和调整用于尺寸计量的参数，如焦点、放大倍率、工具分辨率和检测范围。这种校准设备经过优化，能够以较快的吞吐量进行高精度测量。此外，自动化的基板处理系统允许用户快速、轻松地转移晶圆基板。KLA/TENCOR FX200还提供了一些专门的软件应用程序,旨在帮助进行芯片检查、测量和报告。这些应用提供了高精度和可追踪性的预测结果。这要归功于几个功能，例如可定制的用户界面，它允许用户调整其独特应用程序的仪器配置。该单元还包括一个位于仪器用户界面上的数据输入和管理工具，该工具简化了计量数据的收集和检索。总体而言，KLA FX200晶片测试和计量机是一种可靠和准确的计量器，能够测量到纳米尺度。自动化校准和基板处理系统及其专门的软件应用，使TENCOR FX 200成为半导体制造和检验行业功能强大、用途广泛的工具。