二手 KLA / TENCOR FX 200 #9353225 待售

KLA/TENCOR FX 200是一种专注于晶圆测试和计量的设备。它结合了多种集成的表面分析技术，为晶圆级应用提供高吞吐量和可靠的计量。其坚固可靠的设计确保了晶圆测试和检验的高通量运行和提高效率。KLA FX 200系统包含三个主要组件：两种互补的综合表面分析技术-原子力显微镜和椭圆偏振法,以及一种获得专利的3D成像装置。它还包括先进的扫描技术和不断增长的用户可编程计量方法库，以满足半导体行业不断变化的需求。其光学探测能力是现有最先进的；TENCOR FX200机器能够捕获晶圆基板的自上而下和侧视图。专门的成像模式可确保精确测量的准确性,这对于大容量操作的成功至关重要。椭圆偏振模块提供卓越的性能,以获得尽可能最精确的反射率值,并且该工具可确保快速测量具有多种类型材料的层。利用原子力显微镜模块有效测量晶圆生产过程中的表面粗糙度。其先进的校准方法提供了高度精确的3D曲面轮廓,这对于确保表面光滑至关重要。资产强大的数据分析工具能够有效评估扫描数据。这些工具为快速确定曲面属性提供了易于使用的界面。此外，TENCOR FX 200型号支持手动和自动操作，因此用户可以根据需要在两种不同的处理模式之间切换。总之，KLA FX200是领先的晶圆测试和计量设备，提供高度精确的测量能力。它是为了自动化而设计的，因此可以以更高的可靠性和准确性在大批量的生产设定中使用。其最先进的技术和强大的数据分析工具确保计算出的结果既可靠又准确。