二手 KLA / TENCOR HRP 340 #293601223 待售

KLA/TENCOR HRP 340是一种晶圆测试和计量设备，设计用于高通量、高精度和高分辨率的测量。经过优化，为模具级、晶片级、亚模具级测量提供了快速可靠的测量结果。该系统具有增强的光学单元、高分辨率图像传感器和集成软件包,能够测量电气和光学参数。该机能够处理8英寸至300毫米的基板，并提供快速校准和优异的计量重复性。KLA HRP 340包含许多光学、电气和数字组件,以确保精确和可重现的测量。光学工具包括先进的高分辨率相机、高灵敏度的CCD相机和获得高分辨率图像的数字显微镜。该资产还配备了全自动充电器放电器，从而无需频繁校准。该模型还具有一个自动对准和定位晶片以进行测试的集成阶段。该设备允许进行手动和自动测试，并配备了一整套软件，包括晶片级测试工具、芯片级和模块级测试工具以及数据驱动分析软件。该软件允许测试掺杂剂剖面和杂质分析等电气参数，以及表面粗糙度和折射率等光学参数。数据驱动软件还可以提供晶圆级宏微缺陷检测。TENCOR HRP 340还具有双面计量系统，提供高精度的计量结果。该单元包括一个单像素光学传感器、一个双通道CCD传感器和一个激光位置传感器。光学传感器可精确测量表面粗糙度、晶粒尺寸、表面纹理和线宽。双通道CCD传感器提供线宽、线宽方差、边缘放置误差和迭加精度的精确测量。激光位置传感器提供精确的亚微米测量分辨率。总体而言，HRP 340是一种先进的晶圆测试和计量机器，旨在提供可靠和准确的晶圆级测量。该工具具有光学、电气和数字元件的组合,可实现精确的模具和子模具级测量。该资产还具有用于模级、晶片级和子模级测试的强大软件，以及用于高精度计量测量的双面计量模型。有了这些特点，KLA/TENCOR HRP 340是晶圆测试和计量的绝佳设备。