二手 KLA / TENCOR HRP 340 #293656412 待售

KLA/TENCOR HRP 340是一种晶圆测试和计量设备，旨在为半导体器件制造提供全面的质量控制。它是一种扫描电子显微镜，能够对微观结构进行精确的缺陷检测和计量。该系统针对300毫米（毫米）晶片上的自动化高速晶片测试进行了优化,包括多种功能,可提高吞吐量并提供最高精度。KLA HRP 340基于模块化体系结构构建,最多可同时执行三个测量和检查任务。这是一个300毫米单元，单侧接入配置，是针对高速晶圆扫描优化。该机还包括一个6英寸漂移改进性能（DIP）表和一个无等离子体的样品转移工具。TENCOR HRP 340具有高度先进的成像资产,可实现高灵敏度成像以及具有亚纳米分辨率的精确计量测量。该模型包括一个额外的明亮半金属X射线源和一个高功率紫外线激光，它允许详细的成像和较长的聚焦深度。高灵敏度电子成像设备的设计是为了能够精确检测微缺陷，同时还提供设备表征的3D测量能力。HRP 340还包括一个先进的系统控制和数据采集软件包（K-STAR）。K-STAR包括自动化的单元控制能力、自动处理测量和成像数据以及自动缺陷分类。它还为众多行业标准协议（如IEEE、EDA、SIPI、ATE等）提供支持,使KLA/TENCOR HRP 340易于集成到现有生产流程中。KLA HRP 340是一台最先进的晶圆测试和计量机器，旨在为高灵敏度缺陷检测和密度测量提供精确的测量和成像能力。它是控制半导体器件制造过程和质量的强大工具,因为它提供了先进的成像工具、资产控制软件和自动缺陷分类-所有这些都旨在提供最高的质量保证准确性。