二手 KLA / TENCOR HRP 340 #293662987 待售

KLA/TENCOR HRP 340晶片测试计量设备是一种用于自动晶片缺陷分析和光学设备计量应用的高性能解决方桉。KLA HRP 340专为满足当今半导体行业的苛刻需求而设计,能够提供纳米分辨率和高分析速度-高达40晶圆/小时。该系统由三个子系统组成，方便整个晶圆测试和计量工作流程。第一个子系统是HPR 145计量单元，一个完全集成的机器，结合了四个波长的几何光学计量机器（GOMM）和激光剖面仪。第二个子系统是Patterned Wafer Inspection （PWI）工具，它包括一个高分辨率的自动化光学检查装置和用于检查窄特征和细线图桉的相关软件。最后,TENCOR HRP 340包含缺陷审查和分析资产,用于选择晶片进行深入检查,并将这三个子系统用于晶片测试和计量应用。利用HPR140计量模型，由四个GOMM和一个激光剖面仪的独特组合，制造商可以捕获高分辨率图像，并以速度和精度分析晶圆的几何形状。利用不同的波长技术和自动化技术,提高了精度和吞吐量,提高了纳米精度.Patterned Wafer Inspection设备，配备了高分辨率的自动光学检查装置和相关软件，允许对缺陷进行早期检测和分类。可以精确测量和检查线宽、线空间和边缘放置等晶圆特性，以确保无缺陷的制造。最后，缺陷审查和分析系统提供晶片逐个审查和分析，以确保晶片的制造和修复工作得到有效进行。收集晶圆缺陷表征图像和分析结果,并可以在可自定义的缺陷查看报告中向用户显示。HRP 340晶圆测试和计量单元为半导体行业提供了用于缺陷分析和光学设备计量应用的强大而全面的解决方桉。KLA/TENCOR HRP 340具有高的集成速度、纳米分辨率和全面的缺陷审查和分析子系统,是确保先进半导体制造质量和精度的理想选择。