二手 KLA / TENCOR HRP 340 #293762397 待售

KLA / TENCOR HRP 340
ID: 293762397
晶圆大小: 12"
Profiler 2004 vintage.
KLA/TENCOR HRP 340是一种晶圆测试和计量设备,旨在支持生产车间作业和研发工作。该系统提供高精度和高精度的测量,使用户能够深入了解其晶片批次的特性,并为过程优化和控制提供必要的数据。KLA HRP 340配备了高度灵敏的应变量规换能器和设计用于测量晶圆背面三维形状的c轴级。这允许操作员以1 µm的精度测量晶圆的整体形状、圆度和平坦度。该单元还配备了自动聚焦机,可确保精确和可重复的测量,可重复性± 3 µm。TENCOR HRP 340还配备了一系列软件工具和选项,让用户能够准确分析晶圆表面的不同方面,如粒度、表面粗糙度和污染物。该工具还可以检测和计数缺陷,如划痕和颗粒。这些测试产生的数据可以用来确定晶片批次的质量,优化工艺参数,开发SPC控制图。HRP 340还配备了自动校准功能,使用户能够快速为各种晶圆尺寸和条件设置资产。此外,该模型能够利用两种不同类型的晶圆测试夹具,允许多个晶圆测试配置。这使用户能够快速优化其流程设置并最小化检查时间。此外,设备还具有报告功能,使操作员能够快速验证测试结果并确认产品质量。总体而言,KLA/TENCOR HRP 340是一个出色的晶圆测试和计量系统,旨在促进生产车间的快速运行,提供准确和精确的测量,并使用户能够快速识别和隔离产品质量问题。该设备强大的软件功能、严格的测试协议和自动校准功能使其成为高级流程开发和控制的杰出选择。
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