二手 KLA / TENCOR HRP 340 #293777442 待售

KLA/TENCOR HRP 340晶圆测试和计量设备旨在为晶圆测试和测量提供自动化、精确和可靠的结果。该系统具有广泛的功能,包括全场成像、光掩模缺陷计量、临界尺寸（CD）和蚀刻深度测量、过度蚀刻CD分析以及超高精远心观测。KLA HRP 340配备了25X远程中心立体声显微镜、6英寸激光干涉仪，以及在封闭的检查环境中可同时支撑多达四个晶片的电动x, y, z级。它提供了所有可用晶圆测试单元中最高的动态范围，其可变放大倍率允许在纳米范围内进行精确测量。TENCOR HRP 340的核心是其强大的成像和计量引擎。利用8路图像处理管道对复杂缺陷进行快速分析，具有近红外成像和测量能力，可提高景深。这使得HRP 340可以快速分析光掩模异常，如针孔和异物粒子，并识别和精确测量多个缺陷结构的尺寸，包括接触孔、沟槽和线缘粗糙度（LER）。机器的高级软件包括CD/临界尺寸计量工具,如轮廓、线条轮廓、等值线和平面度,确保精确测量。它还提供高分辨率的自动模式匹配和异常查找功能,使其成为粒子检测和高通量测量的理想选择。除了这些功能外,KLA/TENCOR HRP 340还具有一键晶片对准和旋转补偿功能,使操作员能够快速准确地重新定位和测量晶片,而不会浪费宝贵的时间或资源。它还配备了自动对焦模块,可确保最佳图像质量,同时降低未对准的风险。KLA HRP 340符合SEMI和SEMI Standards，在半导体工业中已成功用于3D表面轮廓和线宽测量。总体而言，TENCOR HRP 340晶圆测试和计量工具是晶圆自动检测的理想解决方桉，为精确可靠的晶圆测试和测量提供了全面而有力的解决方桉。